PA19901

概要
θ軸及びウエハ位置補正用にZ軸とX軸機構を持つアライナです。小型・軽量タイプで設置容積を小さくできます。非接触光学式センサの種類により、さまざまな種類のウエハアライメントに対応可能です。
  • 対応ウエハ:シリコン、(オプションにより透明体(ガラス))
  • 小型・軽量
  • 小スペース
製品の主な仕様
ウエハサイズ 直径 200mm、300mm
ノッチ角度精度 ±0.2°
中心精度 ±0.1mm
位置決め時間 5~8sec ※センサの種類およびウエハのサイズ及びアライメントモードによって異なります。
供給電源 DC24V 4A
通信方式 TCP/IP

PA19902

概要
クランプ軸、θ軸及びZ軸を持つエッジクランプ式のアライナです。ウエハの外周を保持するエッジクランプ方式により、ウエハへのパーティクル付着を最小限に抑えます。
  • 高速・高精度(ノッチ精度±0.05°、中心精度±0.05mm)
  • 装置のスループットを向上(バッファ付き)
  • 透明体(ガラス)、貼り合わせ、画像センサを別途組み合わせることで、ノッチレスウエハにも対応可
製品の主な仕様
ウエハサイズ 直径 300mm
ノッチ角度精度 ±0.05 ~ ±0.2°
中心精度 ±0.05 ~ ±0.1mm ※センサの種類およびアライメントモードによって異なります。
位置決め時間 4 ~ 6.5sec
供給電源 DC24V 4A
通信方式 TCP/IP

PA19903

概要
θ軸にX軸およびY軸を持ち、ウエハ位置補正用にZ軸機構を持つ高精度アライナです。
  • スループットを向上
  • 高精度(ノッチ精度±0.05°、中心精度±0.05mm)
  • 透明体ガラス、貼り合わせウエハ対応
製品の主な仕様
ウエハサイズ 直径 2″ ~ 6″(150mm)
ノッチ角度精度 ±0.05 ~ ±0.1° ※アライメントモードによって異なります。
中心精度 ±0.05 ~ ±0.1mm ※アライメントモードによって異なります。
位置決め時間 2.5 ~ 6.5sec ※アライメントモードによって異なります。
供給電源 DC24V 4A
通信方式 TCP/IP

PA19904

概要
非接触光学検出方式で、スピンドル上のウエハの中心位置とノッチ位置を検出します。本アライナとロボットを組み合わせることで、ロボットフィンガ上でのセンター合わせとノッチ合わせが可能です。
  • ロボットアームとの共調動作によりウエハのアライメントを行なう
  • スピンドル軸のみの構造でコンパクト
  • 当社独自の赤外線センサでウエハを検出
製品の主な仕様
ウエハサイズ 300mm
ノッチ角度精度 アライメント性能(位置決め精度、アライメント時間)、組み合わせるロボット性能、およびロボット制御ソフトにより決まります。
中心精度 アライメント性能(位置決め精度、アライメント時間)、組み合わせるロボット性能、およびロボット制御ソフトにより決まります。
位置決め時間 アライメント性能(位置決め精度、アライメント時間)、組み合わせるロボット性能、およびロボット制御ソフトにより決まります。
供給電源 DC24V ±10% 3A
通信方式 TCP/IP