PHT EFEM

概要
新型クリーンロボットと高速リニア走行軸の搭載で、高速搬送システムを実現しました。OHTやAGVとの接続が可能です。
  • アライナを2台搭載することで、より高スループット化が可能
  • バキューム保持タイプ、エッジクランプタイプに対応(オプション)
  • 200mm/300mm兼用可能(オプション)

製品の主な仕様

型式 PE19901
ポート数 2ポート
搬送対象 300mmウエハ 径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm
キャリア 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧 単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧) -80kPa~-90kPa
真空(流量) 40L/min
正圧(元圧) 0.6MPa~0.7MPa
正圧(流量) 20L/min
EMO接点出力 2系統(ドライ接点)
インターロック 入力8点/出力8点(絶縁I/O)
型式 PE19902
ポート数 3ポート
搬送対象 300mmウエハ 径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm
キャリア 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧 単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧) -80kPa~-90kPa
真空(流量) 50L/min
正圧(元圧) 0.6MPa~0.7MPa
正圧(流量) 30L/min
EMO接点出力 2系統(ドライ接点)
インターロック 入力8点/出力8点(絶縁I/O)