PL01

概要
標準的なロードポートです。 弊社独自の開閉機構を採用しており、FOUPドアの開閉を精密に制御し、ハイレベルなクリーン性能を実現しています。
特長
  • FOUPとAuto Door FOSBに標準対応
  • 独自のドア開閉機構と精密な動作制御で高いクリーン性能を発揮

製品の主な仕様

供給電源 DC24V±10% 6A
圧縮空気 0.5MPa 〜0.6MPa 10L/min以上
真空空気 -60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上
N2

オプション

  • インフォパッドピン・ロックアウトピン
  • RFID・バーコード
  • 表示灯カスタマイズ
  • E84対応
  • 外部I/O対応
  • RS232C通信仕様

PL02

概要
1台で、FOUP、Auto Door FOSB、200mm OCの運用が可能なロードポートです。
切り換えも短時間で行うことができます。標準モデルのドア開閉機構を継承しており、FOUPドアの開閉を精密に制御し、ハイレベルなクリーン性能を実現しています。
特長
  • FOUPとAuto Door FOSBに標準対応
  • 独自のドア開閉機構と精密な動作制御で高いクリーン性能を発揮
  • ステージアダプタにより、200mm OCに対応可能

製品の主な仕様

特殊仕様等 オープンカセット対応
供給電源 DC24V±10% 6A
圧縮空気 0.5MPa 〜0.6MPa 10L/min以上
真空空気 -60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上
N2

オプション

  • インフォパッドピン・ロックアウトピン
  • RFID・バーコード
  • 表示灯カスタマイズ
  • E84対応
  • 外部I/O対応
  • RS232C通信仕様
  • 200mm/300mm対応
  • ガラス対応

PL03

概要
ガラスのワークに対応したロードポートです。標準モデルのドア開閉機構を継承しており、FOUPドアの開閉を精密に制御し、ハイレベルなクリーン性能を実現しています。
特長
  • FOUPとAuto Door FOSBに標準対応
  • 独自のドア開閉機構と精密な動作制御で高いクリーン性能を発揮
  • ガラス対応

製品の主な仕様

特殊仕様等 ガラス対応
供給電源 DC24V±10% 6A
圧縮空気 0.5MPa 〜0.6MPa 10L/min以上
真空空気 -60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上
N2

オプション

  • インフォパッドピン・ロックアウトピン
  • RFID・バーコード
  • 表示灯カスタマイズ
  • E84対応
  • 外部I/O対応
  • RS232C通信仕様

PL04

概要
N2ボトムパージタイプのロードポートです。 独自のノズル機構を採用しており、マスフローコントローラ(MFC)によるガスのコントロールが可能です。
標準モデルのドア開閉機構を継承しており、FOUPドアの開閉を精密に制御し、ハイレベルなクリーン性能を実現しています。
特長
  • FOUPとAuto Door FOSBに標準対応
  • 独自のドア開閉機構と精密な動作制御で高いクリーン性能を発揮
  • 低圧力損失フィルタ内蔵
  • 独自のノズルを搭載

製品の主な仕様

特殊仕様等 パージ対応/ターンタイプ
供給電源 DC24V±10% 9A
圧縮空気 0.5MPa 〜0.6MPa 10L/min以上
真空空気 -60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上
N2 対応

オプション

  • インフォパッドピン・ロックアウトピン
  • RFID・バーコード
  • 表示灯カスタマイズ
  • E84対応
  • 外部I/O対応
  • RS232C通信仕様
  • 温湿度センサ

PL05

概要
各社のストッカメーカー様と連結できるロードポートです。 標準モデルのドア開閉機構を継承しており、FOUPドアの開閉を精密に制御し、ハイレベルなクリーン性能を実現しています。
特長
  • FOUPとAuto Door FOSBに標準対応
  • 独自のドア開閉機構と精密な動作制御で高いクリーン性能を発揮
  • 独自のクランプ機構搭載

製品の主な仕様

特殊仕様等 ターンタイプ
供給電源 DC24V±10% 6A
圧縮空気 0.5MPa 〜0.6MPa 10L/min以上
真空空気 -60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上
N2

オプション

  • インフォパッドピン・ロックアウトピン
  • RFID・バーコード
  • 表示灯カスタマイズ
  • E84対応
  • 外部I/O対応
  • RS232C通信仕様
  • N2、XCDAパージ
  • ガラス対応

PL06

概要
300mmロードポートの横に設置され、OHTからのFOUPの受け取り、ロードポートへの受け渡しが可能な装置です。
特長
  • 装置にFOUPバッファーができることで、OHTの待ち時間短縮が可能になり装置の稼働率を向上
  • 既存装置のロードポート横に設置可能で、工場のOHTラインの変更は不要

製品の主な仕様

供給電源 AC100V±10% 5A
圧縮空気 0.6MPa 〜0.7MPa 10L/min

オプション

  • インフォパッド検出センサ / ロックアウトピン
  • RF-ID / バーコードリーダ