PHT SORTER

概要
新型サーボ搭載クリーンロボット、アライナ、リニア走行軸を採用することで、高スループットのソーティングを実現しました。ロードポートをフレーム前後両側へ搭載可能な構造とし、後々の増設や各種ユニットの追加が可能です。OHTやストッカへの直接接続が可能です。
  • 2台のアライナにより高速アライメント
  • エッジクランプ採用でウエハ裏面へのパーティクル転写を防止
  • ウエハ両面のID読み取りが可能
  • OHT、ストッカ組み込みに対応
  • タッチパネル上で移載指示ができ、わかりやすい操作性を実現

製品の主な仕様

型式 PS19901
ポート数 2ポート
搬送対象 300mmウエハ 径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm
キャリア 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧 単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧) -80kPa~-90kPa
真空(流量) 30L/min
正圧(元圧) 0.6MPa~0.7MPa
正圧(流量) 20L/min
型式 PS19902
ポート数 3ポート
搬送対象 300mmウエハ 径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm
キャリア 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧 単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧) -80kPa~-90kPa
真空(流量) 40L/min
正圧(元圧) 0.6MPa~0.7MPa
正圧(流量) 30L/min
型式 PS19903
ポート数 4ポート
搬送対象 300mmウエハ 径:Φ300±0.2mm 厚み:775μm
キャリア 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧 単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空(元圧) -80kPa~-90kPa
真空(流量) 50L/min
正圧(元圧) 0.6MPa~0.7MPa
正圧(流量) 40L/min