P198001

概要
P198001は全軸にエンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボットです。ダブルアームによりウエハ置換を最短時間で行うことが可能で、搬送スループットを向上させます。また、外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。
  • 全軸ステッピングサーボモータを搭載
  • ダブルアーム仕様による高いスループット
  • ロボット走行軸の制御が可能
製品の主な仕様
アーム/ブレード ダブル
アーム長 [mm] 138
Z軸ストローク [mm] 340/410
最大搬送位置 [mm]※1 695
旋回範囲 [deg] 330
搬送精度 [mm] ±0.1
クリーン度 ISO-CLASS 1
旋回半径 [deg]※2 R250 ~ R317.5
エンコーダ仕様 インクリメンタル
※1:300mmウエハの場合
※2:リスト部及びフィンガ長さによって異なります。

P198002

概要
P198002は全軸にエンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボットです。ダブルアームにより、ウエハ置換を最短時間で行うことが可能で、搬送スループットを向上させます。また、外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。
  • 全軸ステッピングサーボモータを搭載
  • ダブルアーム仕様による高いスループット
  • ロボット走行軸の制御が可能
製品の主な仕様
アーム/ブレード ダブル
アーム長 [mm] 156
Z軸ストローク [mm] 340/410
最大搬送位置 [mm]※1 766
旋回範囲 [deg] 330
搬送精度 [mm] ±0.1
クリーン度 ISO-CLASS 1
旋回半径 [deg]※2 R282.5 ~ R335
エンコーダ仕様 インクリメンタル
※1:300mmウエハの場合
※2:リスト部及びフィンガ長さによって異なります。

P198003

概要
P198003は全軸にアブソリュートエンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボットです。アーム軸と旋回軸の同期補間動作によって、走行軸なしで2ポートにアクセスできます。外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。
  • 全軸ABS付ステッピングサーボモータを搭載
  • 走行軸レスにて2ポートアクセスが可能
  • アーム剛性強化により高重量ハンドに対応
  • ロボット走行軸の制御が可能
製品の主な仕様
アーム/ブレード シングル
アーム長 [mm] 156
Z軸ストローク [mm] 340/410/450
最大搬送位置 [mm]※1 728
旋回範囲 [deg] 330
搬送精度 [mm] ±0.1
クリーン度 ISO-CLASS 1
旋回半径 [deg]※2 R245 ~ R282.5
エンコーダ仕様 アブソリュート
※1:300mmウエハの場合
※2:リスト部及びフィンガ長さによって異なります。

P198004

概要
P198004は全軸にアブソリュートエンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボットです。アーム軸と旋回軸の同期補間動作によって、走行軸なしで2ポートにアクセスできます。ダブルアームによりウエハ置換を最短時間で行うことが可能で、搬送スループットを向上させます。また、外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。
  • 全軸ABS付ステッピングサーボモータを搭載
  • 走行軸レスにて2ポートアクセスが可能
  • アーム剛性強化により高重量ハンドに対応
  • ダブルアーム仕様による高いスループット
  • ロボット走行軸の制御が可能
製品の主な仕様
アーム/ブレード ダブル
アーム長 [mm] 156
Z軸ストローク [mm] 340/410/430
最大搬送位置 [mm]※1 766
旋回範囲 [deg] 330
搬送精度 [mm] ±0.1
クリーン度 ISO-CLASS 1
旋回半径 [deg]※2 R282.5 ~ R335
エンコーダ仕様 アブソリュート
※1:300mmウエハの場合
※2:リスト部及びフィンガ長さによって異なります。

P198005

概要
P198005は全軸にアブソリュートエンコーダ付きステッピングモータを搭載したブーメランアーム型ロボットです。アーム軸と旋回軸の同期補間動作によって、走行軸なしで2ポートにアクセスできます。外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。旋回動作に死角がなく、全方向へアクセスできます。
  • 全軸ABS付ステッピングサーボモータを搭載
  • 走行軸レスにて2ポートアクセスが可能
  • アーム剛性強化により高重量ハンドに対応
  • ロボット走行軸の制御が可能
  • 旋回死角がなく、全方向へのアクセスが可能
  • ロングリーチに対応
製品の主な仕様
アーム/ブレード ダブル
アーム長 [mm] 270
Z軸ストローク [mm] 190/420/550
最大搬送位置 [mm]※1 962
旋回範囲 [deg] 420
搬送精度 [mm] ±0.1
クリーン度 ISO-CLASS 1
旋回半径 [deg]※2 R320
エンコーダ仕様 アブソリュート
※1:300mmウエハの場合
※2:リスト部及びフィンガ長さによって異なります。