P199501

概要
R481ブーメランアーム真空ロボット(ダブル・アーム)は、駆動部にDDM(ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、スチールベルトで駆動されるアーム機構により、小さな旋回エリアでありながらも長いエンドエフェクタの採用を実現しています。
  • 小さな旋回エリア
  • 長いフィンガに対応、ロングリーチ
  • 狭いゲート開口サイズに対応(15mm)
  • 高精度
  • 超高真空対応
  • ハイスループット
  • AWCオプション対応(ウエハ位置補正)
製品の主な仕様
被搬送物 ~300mmウエハ
搬送質量 3.0kg/10Nm ※リスト取り付け部(EE含む)
ワーク中心搬送距離 715mm (300mmウエハの場合)
Z軸ストローク 70mm/140mm
旋回範囲 無限回転
旋回直径 530mm
搬送精度 (X,Y) ±0.1mm
質量 100kg
耐真空度 10E-6 Pa
Heリークレート 5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5x10E-4 Pa)
使用温度 80℃以下
真空内使用材料 Alminum、Stainless Steel、AM350(Bellows)、Niメッキ仕様マグネット、フッ素系Oリング
モータ仕様 真空用ダイレクトドライブモータ (Z軸:サーボモータ)
エンコーダ仕様 ABS
ユーティリティー DC48V(モータ駆動)、DC24V(通信)
通信仕様 TCP/IP
オプション ティーチングペンダント、電源ユニット(AC200V Input)

P199502

概要
P199502ブーメランアーム真空ロボット(ダブル・アーム)は、駆動部にDDM(ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、スチールベルトで駆動されるアーム機構により、小さな旋回エリアでありながらも長いエンドエフェクタの採用を実現しています。
  • 小さな旋回エリア
  • 長いフィンガに対応、ロングリーチ
  • 狭いゲート開口サイズに対応(15mm)
  • 高精度
  • 超高真空対応
  • ハイスループット
  • AWCオプション対応(ウエハ位置補正)
製品の主な仕様
被搬送物 ~300mmウエハ
搬送質量 3.0kg/10Nm ※リスト取り付け部(EE含む)
ワーク中心搬送距離 835mm (300mmウエハの場合)
Z軸ストローク 70mm/140mm
旋回範囲 無限回転
旋回直径 590mm
搬送精度 (X,Y) ±0.1mm
質量 100kg
耐真空度 10E-6 Pa
Heリークレート 5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5×10-4 Pa)
使用温度 80℃以下
真空内使用材料 Alminum, Stainless Steel, AM350(Bellows), Niメッキ仕様マグネット, フッ素系Oリング
モータ仕様 真空用ダイレクトドライブモータ (Z軸:サーボモータ)
エンコーダ仕様 ABS
ユーティリティー DC48V(モータ駆動)、DC24V(通信)
通信仕様 TCP/IP
オプション ティーチングペンダント、電源ユニット(AC200V Input)

P199503

概要
P199503ブーメランアーム真空ロボット(ダブル・アーム)は、駆動部にDDM(ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、スチールベルトで駆動されるアーム機構により、小さな旋回エリアでありながらも長いエンドエフェクタの採用を実現しています。
  • 小さな旋回エリア
  • 長いフィンガに対応、ロングリーチ
  • 狭いゲート開口サイズに対応(15mm)
  • 高精度
  • 超高真空対応
  • ハイスループット
  • AWCオプション対応(ウエハ位置補正)
製品の主な仕様
被搬送物 ~300mmウエハ
搬送質量 3.0kg/10Nm ※リスト取り付け部(EE含む)
ワーク中心搬送距離 1115mm (300mmウエハの場合)
Z軸ストローク 70mm/140mm
旋回範囲 無限回転
旋回直径 730mm
搬送精度 (X,Y) ±0.1mm
質量 100kg
耐真空度 10E-6 Pa
Heリークレート 5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5x10E-4 Pa)
使用温度 80℃以下
真空内使用材料 Alminum, Stainless Steel, AM350(Bellows), Niメッキ仕様マグネット,フッ素系Oリング
モータ仕様 真空用ダイレクトドライブモータ (Z軸:サーボモータ)
エンコーダ仕様 ABS
ユーティリティー DC48V(モータ駆動)、DC24V(通信)
通信仕様 TCP/IP
オプション ティーチングペンダント、電源ユニット(AC200V Input)

P199504

概要
P199504フロッグレッグアーム真空ロボットは、駆動部にDDM(真空ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、フルリンクアーム機構により、高い繰り返し位置決め精度を実現しています。
  • 高精度
  • 超高真空対応
  • ハイスループット
  • AWCオプション対応(ウエハ位置補正)
製品の主な仕様
被搬送物 ~300mmウエハ、6”マスク等
ワーク中心搬送距離 778mm (300mmウエハの場合)
Z軸ストローク 70mm/140mm
旋回範囲 無限回転
旋回直径 810mm
搬送精度 (X,Y) ±0.1mm
質量 65kg
耐真空度 10E-6 Pa
Heリークレート 5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5x10E-4 Pa)
使用温度 80℃以下
真空内使用材料 Alminum、Stainless Steel、AM350(Bellows)、Niメッキ仕様マグネット、フッ素系Oリング
モータ仕様 真空用ダイレクトドライブモータ (Z軸:サーボモータ)
エンコーダ仕様 ABS
ユーティリティー DC48V(モータ駆動)、DC24V(通信)
通信仕様 TCP/IP
オプション ティーチングペンダント、電源ユニット(AC200V Input)

P199505

概要
P199505フロッグレッグアーム真空ロボットは、駆動部にDDM(真空ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、フルリンクアーム機構により、高い繰り返し位置決め精度を実現しています。
  • 高精度
  • 超高真空対応
  • ハイスループット
  • AWCオプション対応(ウエハ位置補正)
製品の主な仕様
被搬送物 ~300mmウエハ、6”マスク等
ワーク中心搬送距離 1039mm (300mmウエハの場合)
Z軸ストローク 70mm/140mm
旋回範囲 無限回転
旋回直径 980mm
搬送精度 (X,Y) ±0.1mm
質量 70kg
耐真空度 10E-6 Pa
Heリークレート 5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5x10E-4 Pa)
使用温度 80℃以下
真空内使用材料 Alminum、Stainless Steel、AM350(Bellows)、Niメッキ仕様マグネット、フッ素系Oリング
モータ仕様 真空用ダイレクトドライブモータ (Z軸:サーボモータ)
エンコーダ仕様 ABS
ユーティリティー DC48V(モータ駆動)、DC24V(通信)
通信仕様 TCP/IP
オプション ティーチングペンダント、電源ユニット(AC200V Input)

P199506

概要
P199506/スカラアーム真空ロボット(シングル・アーム)は、駆動部にDDM(真空ダイレクトドライブモータ)を採用したことによって、高い位置再現性と信頼性の高い真空隔壁性能を実現しています。また、スチールベルトで駆動されるリンク・アーム機構により、小さな旋回エリアでありながらも長いエンドエフェクタの採用を実現しています。
  • 小さな旋回エリア(小フットプリント)
  • 長いフィンガに対応、ロングリーチ
  • 狭いゲート開口サイズに対応(15mm)
  • 高精度
  • 超高真空対応
  • ハイスループット
  • AWCオプション対応(ウエハ位置補正)
製品の主な仕様
被搬送物 ~300mmウエハ
搬送質量 3.0kg/10Nm ※リスト取り付け部(EE含む)
ワーク中心搬送距離 635mm (300mmウエハの場合)
Z軸ストローク 70mm/140mm
旋回範囲 無限回転
旋回直径 490mm
搬送精度 (X,Y) ±0.1mm
質量 70kg
耐真空度 10E-6 Pa
Heリークレート 5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base vacuum 5x10E-4 Pa)
使用温度 80℃以下
真空内使用材料 Alminum、Stainless Steel、AM350(Bellows)、Niメッキ仕様マグネット、フッ素系Oリング
モータ仕様 真空用ダイレクトドライブモータ (Z軸:サーボモータ)
エンコーダ仕様 ABS
ユーティリティー DC48V(モータ駆動)、DC24V(通信)
通信仕様 TCP/IP
オプション ティーチングペンダント、電源ユニット(AC200V Input)