旋转干燥机
我们是以晶圆清洗机、蚀刻设备、旋转干燥机等半导体制造设备为中心的制造商。
我们作为一家可以根据客户需求转机的公司，从小型研究机器到大规模生产的自动化设备。
我们还利用这些技术开发和制造LCD、PDP、有机EL、FED、LED等清洗设备。
所有产品都是内部制造的，因此我们可以以低廉的价格提供它们。
如果您对其他公司产品的维护有任何问题，请随时与我们联系。
特点
它广泛用于8×6英寸组合使用，用于硅或化合物半导体晶片的少量加工，以及紧凑型桌面干燥。
操作非常简单，将晶圆放在转盘上后，只需放下顶盖并按下启动按钮即可安全地旋转干燥完成。
规格
| 型号 | SPD100・200・400・600・800 |
|---|---|
| 4载体类型 | (2载波类型也可用) 但是，8英寸和12英寸是2托架类型 |
| 转速 |
排水0～1200rpm（可变） 正常400～600rpm（可变） 干燥0～1200rpm（可变） 正常700～1000rpm（可变） |
| 处理时间 |
排水0～999.9sec（可变） 干燥0～999.9sec（可变） |
| ULPA过滤器 | 0.1um、修复率99.9995%以上 |
| 盖 | 气缸自动开闭 |
| 排气 | 带自动阻尼器，主体后部一处 |
| 轴密封剂 | 特殊密封 |
| 电源 | 3φAC200V 6KVA 50/60Hz |
台式旋转干燥机
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特点
定制产品300mm，在盖子上内置HEPA或ULPA过滤器，通过引入清洁空气提高腔室内的清洁度。
它是台式机，主体很轻，所以很容易移动。
主体和腔体均由PVC制成，不会生锈。
规格
| 型号 | SPD100・200・400・600・800 |
|---|---|
| 4载体类型 | (2载波类型也可用) 但是，8英寸和12英寸是2托架类型 |
| 转速 |
排水0～1200rpm（可变） 正常400～600rpm（可变） 干燥0～1200rpm（可变） 正常700～1000rpm（可变） |
| 处理时间 |
排水0～999.9sec（可变） 干燥0～999.9sec（可变） |
| ULPA过滤器 | 0.1um、维修率99.9995%以上 |
| 盖 | 气缸自动开闭 |
| 排气 | 带自动阻尼器，主体后部一处 |
| 轴密封剂 | 特殊密封 |
| 电源 | 3φAC200V 6KVA 50/60Hz |